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LED专用炉青岛福润德

　　

  • 发布日期：
  • 2024/9/14 16:51:18
  • 内 容：
  • LED专用炉主要满足LED芯片制造行业，对圆片及残片进行合金、退火、扩散、氧化等工艺。 主要性能指标：
    外型形式：卧式1—4管结构，水平炉管
    外型形式：卧式1—4管结构，水平炉管
    恒温区长度：≥600mm
    硅片规格：适用于2—6英寸硅片以及碎片
    恒温区精度：≤±1℃(在400—1000℃范围内)
    单点温度稳定性、重复性：≤±1℃／24h(在400—1000℃范围内)
    温度过冲平衡：载料进炉，温度平衡到工艺时间，低于10分钟
    工艺气体及控制：氮气、氧气，MFC或浮子流量计控制
    气路系统气密性：1×10-7PaM3/S
    送料机构：悬臂石英杆载料，手动
    报警系统：工艺气体压力异常报警、断电报警、超温报警、极限超温报警
    控制方式：工控机总程控制、触摸屏控制
  • 地区：
  • 联系人：
  • 13668894181
  • 联系电话/手机
  • 13668894181
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  • 信息来源：
  • https://www.sn180.com/buyer/buyview/5987124.html


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