淄博万达利特种气体公司拥有十余项中外授权专利。研发的沸石催化剂及其应用技术处于世界先进水平。生产的“华宇同方”牌高纯氯化氢产品与国际知名品牌的性能相当,为半导体器件制造业、光伏产业和医药工业提供了充足的优质原材料。
公司现有年产2000吨高纯氯化氢生产线,连续批量生产应用于单晶硅外延片制造的5N(99.999%)电子级(VLSI)氯化氢,以及应用于医药中间体、农药及精细化学品制造的2.8N(99.8%)化学级氯化氢。产品性能先进,质量稳定,处于国内领先地位,达到国际先进水平。钢瓶装电子级氯化氢产品分别经国家标准物质研究中心和信息产业部专用材料质量监督检验中心抽样检验,纯度大于99.999%,总杂质含量小于5ppm,符合国家标准GB/T24469-2009。2003年10月通过北京市科委科技成果鉴定,获得国家授权专利,具有自主知识产权。经国内外多家半导体材料生产企业在单晶硅片气相抛光、外延基座腐蚀和硬质合金镀膜工艺中使用证明,其主要性能技术指标与国外同类产品相当,填补了我国电子级氯化氢产品生产的空白。
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