应用领域
专为半导体制造工厂的化学液体供给设备等设计的阀,可耐受高压、高背压。
可耐受供液管线的高压、高背压、大流量的0.7MPa规格。
安全性能
采用在渗透性、透过性强的高浓度、高压化学液体供给管线中使用也安全放心的设计。
彻底排除金属部件,更加安全放心。
采用可以防止过度拧紧、错误分解的结构,安全放心。
产品特点
【扩大使用压力范围】
通过采用新密封结构,扩大使用压力范围。
A、B口的使用压力实现通用化。
【酸碱适用】
执行器采用耐化学药品性优异的氟树脂“PVDF”,标准型应用非常广泛,酸碱同样适用。
【扩大流体温度范围】
大幅扩大标准品的使用流体温度范围(Max. 120℃)。
可选择带传感器的类型,通过信号确认阀的开闭情况。