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电子级正硅酸四乙酯/ TEOS
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名称
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正硅酸四乙酯(TEOS)
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化学式
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C8H20O4Si
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相对分子量
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208.33
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CAS号
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78-10-4
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理化性质
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无色透明液体，熔点－77℃，沸点168.5℃，密度0.9346g/ml。在空气中较稳定；微溶于水，在纯水中水解缓慢；在酸或碱的存在下能加速水解作用。
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主要用途
主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积（CVD）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。
典型应用
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CVD类型
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材料
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APCVD
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TEOS,O3
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LPCVD
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TEOS
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PECVD
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TEOS,O2
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产品标准
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项目Item
|
标准值Standard Value
|
项目Item
|
标准值Standard Value
|
|
纯 度
|
99.999999% (8N)
|
铌（Nb）max
|
0.1ppb
|
|
铝（Al）max
|
0.2ppb
|
镍（Ni）max
|
0.2ppb
|
|
银（Ag）max
|
0.1ppb
|
铅（Pb）max
|
0.1ppb
|
|
砷（As）max
|
0.4ppb
|
锑（Sb）max
|
0.1ppb
|
|
金（Au）max
|
0.1ppb
|
锡（Sn）max
|
0.2ppb
|
|
硼 （B）max
|
0.5ppb
|
锶（Sr）max
|
0.1ppb
|
|
钡（Ba）max
|
0.1ppb
|
钍（Th）max
|
0.1ppb
|
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铍（Be）max
|
0.1ppb
|
钛（Ti）max
|
0.1ppb
|
|
铋（Bi）max
|
0.1ppb
|
铀（U ）max
|
0.1ppb
|
|
钙（Ca）max
|
0.5ppb
|
钒（V ）max
|
0.1ppb
|
|
镉（Cd）max
|
0.1ppb
|
钨（W ）max
|
0.1ppb
|
|
钴（Co）max
|
0.4ppb
|
锌（Zn）max
|
0.2ppb
|
|
铜（Cu）max
|
0.2ppb
|
锆（Zr）max
|
0.1ppb
|
|
铬（Cr）max
|
0.2ppb
|
Cl- max
|
0.5 ppm
|
|
铁（Fe）max
|
0.2ppb
|
水份 max
|
5 ppm
|
|
镓（Ga）max
|
0.4ppb
|
乙醇含量 max
|
3 ppm
|
|
汞（Hg）max
|
0.3ppb
|
颗粒数≥0.2µm max
|
30 p/ml
|
|
钾（ K）max
|
0.2ppb
|
颗粒数≥0.3µm max
|
20 p/ml
|
|
锂（Li）max
|
0.1ppb
|
颗粒数≥0.5µm max
|
10 p/ml
|
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镁（Mg）max
|
0.5ppb
|
颗粒数≥1.0µm max
|
3 p/ml
|
|
锰（Mn）max
|
0.1ppb
|
色度
|
＜10APHA
|
|
钼（Mo）max
|
0.1ppb
|
外观
|
无色透明液体
|
|
钠（Na）max
|
0.5ppb
|
保质期
|
24个月
|
包装方法：316L不锈钢瓶，外装不锈钢柜。
高纯电子级无水三氯化铝
一、分子式：AlCl3
二、分子量：133.35
三、理化性质:
白色颗粒或粉末，有强盐酸气味。易溶于水、醇、氯仿、四氯化碳，微溶于苯。
四、用途:
主要用于芯片的P型掺杂，或制备氮化铝介电膜和氧化铝介电膜。是制作集成电路、太阳能电池等的固态铝源，以及有机合成中的催化剂和制备铝有机化合物、金属的炼制等。
五、质量指标:
|
|
分析项目
|
技术指标（ppm）
|
|
|
4N
|
5N
|
|
外观
|
颗粒或粉末
|
颗粒或粉末
|
|
颜色
|
白色
|
白色
|
|
镉 (Cd) max
|
8
|
1
|
|
铬 (Cr) max
|
14
|
1
|
|
铁 (Fe) max
|
10
|
1
|
|
铅 (Pb) max
|
8
|
1
|
|
锰 (Mn) max
|
10
|
1
|
|
镍 (Ni) max
|
30
|
1
|
|
镁 （Mg) max
|
10
|
1
|
|
钡 (Ba) max
|
10
|
1
|
|
|
|
|
|
六、包装
容 器：120ml广口瓶。
外包装：容器外用PE袋抽真空，再放入含有防撞海绵和防潮袋的硬纸盒中，最后再次抽真空。
规 格：50克/瓶，也可以根据用户的要求进行包装。
高纯电子级红磷
一、分子式：P4
二、分子量：123.89
三、理化性质：
白磷的同素异形体，红褐色无定形粉末或块状固体。相对密度2.20，熔点590℃，着火点200℃以上。不溶于水、二硫化碳和有机溶剂，微溶于无水乙醇，可溶于三溴化磷和氢氧化钠。接触氧化剂时可引起爆炸。
四、用途：
电子级红磷是合成磷化合物半导体的主要材料之一，可用于合成磷化铟（InP）、磷化镓（GaP）、磷砷化镓铝（AlGaAsP）、磷砷化镓铟（InGaAsP）、磷砷化镓（GaAsP）等化合物半导体。红磷也可用作IC掺杂的固态磷源。
五、质量指标：
|
分析项目
|
技术指标（ppb）
|
分析项目
|
技术指标（ppb）
|
|
6N
|
6.5N
|
6N
|
6.5N
|
|
砷（As）max
|
50
|
50
|
镁（Mg）max
|
100
|
50
|
|
银（Ag）max
|
10
|
8
|
锰（Mn）max
|
20
|
5
|
|
铝（Al）max
|
100
|
50
|
钼（Mo）max
|
5
|
2
|
|
钡（Ba）max
|
10
|
5
|
钠（Na）max
|
100
|
50
|
|
铋（Bi）max
|
10
|
10
|
镍（Ni）max
|
20
|
10
|
|
钙（Ca）max
|
100
|
10
|
铅（Pb）max
|
20
|
10
|
|
钴（Co）max
|
5
|
5
|
锡（Sn）max
|
50
|
50
|
|
铬（Cr）max
|
10
|
5
|
锶（Sr）max
|
5
|
5
|
|
铜（Cu）max
|
15
|
11
|
镉（Cd）max
|
5
|
2
|
|
铁（Fe）max
|
150
|
100
|
锌（Zn）max
|
30
|
12
|
|
汞（Hg）max
|
10
|
10
|
钾（K）max
|
150
|
50
|
|
铟（In）max
|
5
|
2
|
粒度
|
供需协商
50
|
六、包装：
容 器：硼玻璃或石英玻璃瓶。
外包装：铁桶或木箱包装。
电子级三甲基铝(TMA)
一、分子式：Al(CH3)3
二、分子量：72.09
三、理化性质
无色透明液体，熔点15℃，沸点127℃，密度0.74g/ml。在空气中瞬间就能着火自燃，与具有活性氢的醇、酸及水剧烈反应。与己烷、庚烷等脂肪烃及甲苯、二甲苯等芳香烃以任意比例混溶。用烃系溶剂烯释到25%以下的三甲基铝失去自燃性。
四、用途
液态铝源，在光伏领域用于PECVD或ALD沉积Al2O3钝化膜。在半导体工业，用于沉积氧化铝膜，或与硅、铪、锆等一起沉积混和氧化物膜，或与氨一起沉积氮化铝膜。
五、质量指标
|
分析项目
|
技术指标（ppm）
|
分析项目
|
技术指标（ppm）
|
|
4N
|
4N
|
|
Al max
|
37.0-37.4%
|
Mn max
|
1
|
|
Ag max
|
1
|
Na max
|
3
|
|
B max
|
1
|
Ni max
|
1
|
|
Ba max
|
1
|
Pb max
|
2
|
|
Ca max
|
1
|
S max
|
1
|
|
Cd max
|
1
|
Si max
|
15
|
|
Cu max
|
1
|
Ti max
|
1
|
|
Cr max
|
1
|
V max
|
2
|
|
Fe max
|
1
|
Zn max
|
1
|
|
Ge max
|
1
|
O max
|
150
|
|
In max
|
1
|
色度（APAH），max
|
10
|
|
Mg max
|
1
|
六、包装
容 器：内抛光304不锈钢罐
气 口：1/4"VCR母接头
浸 管：1/4"VCR公接头
规 格：1kg、7kg、14kg
电子级磷酸三甲酯 (TMPO)
一、分子式：PO(OCH3)3
二、分子量：140.07
三、理化性质
无色液体，有水果味，熔点-46℃，沸点197℃，密度1.215g/ml。易燃，易溶于水和乙醚，难溶于乙醇。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
|
分析项目
|
技术指标
|
分析项目
|
技术指标
|
|
纯度
|
99.99999%（7N）
|
Li max
|
1 ppb
|
|
Al max
|
2 ppb
|
Mg max
|
3 ppb
|
|
Ag max
|
1 ppb
|
Mo max
|
1 ppb
|
|
As max
|
8 ppb
|
Mn max
|
1 ppb
|
|
Au max
|
1 ppb
|
Na max
|
2 ppb
|
|
Ba max
|
1 ppb
|
Ni max
|
1 ppb
|
|
Be max
|
1 ppb
|
Nb max
|
1 ppb
|
|
Bi max
|
1 ppb
|
Pb max
|
1 ppb
|
|
Ca max
|
4 ppb
|
Sb max
|
1 ppb
|
|
Cd max
|
1 ppb
|
Sn max
|
1 ppb
|
|
Co max
|
1 ppb
|
Sr max
|
1 ppb
|
|
Cu max
|
1 ppb
|
Ti max
|
1 ppb
|
|
Cr max
|
1 ppb
|
V max
|
1 ppb
|
|
Fe max
|
3 ppb
|
Zn max
|
2 ppb
|
|
Ga max
|
1 ppb
|
Zr max
|
1 ppb
|
|
Hg max
|
1 ppb
|
色度 max
|
＜10APHA
|
|
K max
|
1 ppb
|
颗粒数≥0.5µm max
|
15 p/ml
|
六、包装
容 器：内抛光316L不锈钢桶
气 口：1/4"VCR公阀门
浸 管：1/4"VCR母阀门
外包装：不锈钢箱柜
规 格：3L，5L，19L
电子级亚磷酸三甲酯 (TMPI)
一、分子式: P(OCH3)3
二、分子量: 124.08
三、理化性质
无色液体，有刺激性臭味，熔点-78℃，沸点111～112℃，密度1.05g/ml。易燃，不溶于水。遇水缓慢分解为磷酸和甲醇。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）的磷源。是半导体、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
|
分析项目
|
技术指标
|
分析项目
|
技术指标
|
|
纯度
|
99.99999%（7N）
|
Li max
|
1 ppb
|
|
Al max
|
2 ppb
|
Mg max
|
3 ppb
|
|
Ag max
|
1 ppb
|
Mo max
|
1 ppb
|
|
As max
|
8 ppb
|
Mn max
|
1 ppb
|
|
Au max
|
1 ppb
|
Na max
|
2 ppb
|
|
Ba max
|
1 ppb
|
Ni max
|
1 ppb
|
|
Be max
|
1 ppb
|
Nb max
|
1 ppb
|
|
Bi max
|
1 ppb
|
Pb max
|
1 ppb
|
|
Ca max
|
4 ppb
|
Sb max
|
1 ppb
|
|
Cd max
|
1 ppb
|
Sn max
|
1 ppb
|
|
Co max
|
1 ppb
|
Sr max
|
1 ppb
|
|
Cu max
|
1 ppb
|
Ti max
|
1 ppb
|
|
Cr max
|
1 ppb
|
V max
|
1 ppb
|
|
Fe max
|
3 ppb
|
Zn max
|
2 ppb
|
|
Ga max
|
1 ppb
|
Zr max
|
1 ppb
|
|
Hg max
|
1 ppb
|
色度 max
|
＜10APHA
|
|
K max
|
1 ppb
|
颗粒数≥0.5µm max
|
15 p/ml
|
六、包装
容 器：316L材质钢瓶
气 口：1/4"VCR公阀门
浸 管：1/4"VCR母阀门
外包装：不锈钢柜
规 格：5L，19L
电子级硼酸三甲酯 (TMB)
一、分子式: B(OCH3)3
二、分子量:103.92
三、理化性质
无色液体，无明显气味，性质稳定。熔点-29℃，密度0.915g/ml，沸点67～68℃。易燃，
与氧化剂能发生强烈反应。水解生成甲醇和硼酸，能与有机溶剂混溶。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中化学气相沉积（CVD）生成硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半导体、
分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
|
分析项目
|
技术指标
|
分析项目
|
技术指标
|
|
纯度
|
99.99999%（7N）
|
Mg max
|
1 ppb
|
|
Al max
|
4 ppb
|
Mn max
|
1 ppb
|
|
 Ag max
|
1 ppb
|
Na max
|
1 ppb
|
|
As max
|
1 ppb
|
Ni max
|
1 ppb
|
|
Au max
|
1 ppb
|
Nb max
|
1 ppb
|
|
Ba max
|
1 ppb
|
Pb max
|
1 ppb
|
|
Bi max
|
1 ppb
|
Sb max
|
1 ppb
|
|
Ca max
|
3 ppb
|
Sn max
|
1 ppb
|
|
Co max
|
1 ppb
|
Sr max
|
1 ppb
|
|
Cu max
|
1 ppb
|
Ti max
|
1 ppb
|
|
Cr max
|
1 ppb
|
Zn max
|
1 ppb
|
|
Fe max
|
2 ppb
|
水分，max
|
20ppm
|
|
Ga max
|
1 ppb
|
色度，max
|
＜20APHA
|
|
Hg max
|
1 ppb
|
颗粒数≥0.2µm max
|
30p/ml
|
|
K max
|
1 ppb
|
颗粒数≥0.5µm max
|
10 p/ml
|
|
Li max
|
1 ppb
|
颗粒数≥1.0µm max
|
3 p/ml
|
六、包装
容 器：316L材质钢瓶
气 口：1/4"VCR公阀门
浸 管：1/4"VCR母阀门
外包装：不锈钢柜
规 格：3L，5L，19L
CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料
|
Dielectrics PMD/IMD
|
TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB
|
|
Low K Dielectrics
|
4MS ,OMCATS
|
|
High K Dielectrics
|
TAETO (Ta2O5 Precursor )
TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor)
TMA (Al2O3 Precursor)
|
|
Metal Gate and Interconnect Metal
|
TDMAT (TiN Precursor )
TiCl4 ( Ti /TiN Precursor )
|
|
Low-Temp Nitride/Oxide
|
HCDS
|
|
Diffusion
|
POCl3
|
供应半導體化學氣相沉積材料，專業研發及製造各種先進 CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學氣相沉積材料。
CVD Precursor(化学气相沉积材料)
TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB
CVD Precursor(化學氣相沉積材料)
TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K Material
TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等
前驱体材料 Precursor Material
|
序号
|
中文名
|
化学式
|
CAS号
|
中文别名
|
英文名
|
|
1
|
三甲基铝
|
C3H9Al
|
75-24-1
|
三甲基铝
|
Trimethylaluminium
|
|
2
|
三甲基锑
|
Sb(CH3)3
|
594-10-5
|
三甲基锑
|
Trimethylantimony
|
|
3
|
三乙基锑
|
C6H15Sb
|
617-85-6
|
三乙基锑
|
Antimony triethide
|
|
4
|
二叔丁基碲
|
PhTeMgBr
|
83817-35-0
|
二叔丁基碲
|
Tert-butyl telluride
|
|
5
|
二乙基碲
|
Te(C2H5)2
|
627-54-3
|
二乙基碲
|
Telluriumdiethyl
|
|
6
|
二异丙基碲
|
C6H14Te
|
51112-72-2
|
二异丙基碲
|
Diisopropyl telluride
|
|
7
|
三（二甲氨基）镓
|
Ga(N(CH3)2)3
|
57731-40-5
|
三(二甲基酰氨基)镓(III)
|
Tris(dimethylamido)gallium(III)
|
|
8
|
三（二甲氨基）硅
|
C6H19N3Si
|
15112-89-7
|
三(二甲胺基)硅烷
|
Tris(dimethylamino)silane
|
|
9
|
三（二甲氨基）锑
|
C6H18N3Sb
|
7289-92-1
|
三(二甲氨基)锑
|
Tris(dimethylamino)antimony
|
|
10
|
四（二甲氨基）铪
|
C8H24HfN4
|
19962-11-9
|
四(二乙氨基)铪
|
Tetrakis(diethylamion)hafnium
|
|
11
|
四（甲乙胺基）铪
|
C12H32HfN4
|
352535-01-4
|
四双(乙基甲基氨)铪(IV)
|
Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium(IV)
|
|
12
|
四（二甲氨基）锗
|
C8H24GaN4
|
7344-40-3
|
四（二甲氨基）锗
|
Germanium dimethylamide
|
|
13
|
四（二甲氨基）锆
|
C8H24N4Zr
|
19756-04-8
|
四(二乙氨基)锆(Ⅳ)
|
Tetrakis(diethylamion)zirconium( Ⅳ)
|
|
14
|
四（甲乙胺基）锆
|
C12H32N4Zr
|
175923-04-3
|
四(乙基甲基氨基)锆(IV)
|
Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium(iv)
|
|
15
|
四（二甲氨基）锡
|
C8H24N4Sn
|
1066-77-9
|
四（二甲氨基）锡
|
Tetrakis(dimethylamino)tin
|
|
16
|
四（二甲氨基）钛
|
C8H24N4Ti
|
3275-24-9
|
四（二甲氨基）钛
|
Titanium tetrakis(dimethylamide)/TDMAT
|
|
17
|
四（甲乙胺基）钒
|
C12H32N4V
|
791114-66-4
|
四(乙基甲基氨基)钒
|
Tetrakis(ethylmethylamino)vanadium
|
|
18
|
五（乙氧基）钽
|
C10H30O5Ta
|
6074-84-6
|
乙醇钽(V)
|
Tantalum(5+) ethanolate
|
|
|
19
|
五（二甲氨基）钽
|
C10H30N5Ta
|
19824-59-0
|
五（二甲氨基）钽
|
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)
|
|
|
|
|
|
|
二环茂二烯铁 ;双环戊二烯基铁 ;
|
Ferrocene
|
|
|
20
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二茂铁
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C10H10Fe
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102-54-5
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环戊二茂铁
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21
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二茂锰
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C10H10Mn
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73138-26-8
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双(环戊二基)锰
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Bis(cyclopentadienyl)manganese( Ⅱ)
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22
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二茂镍
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C10H10Ni
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1271-28-9
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双(环戊二烯)镍
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Bis(η5-2,4-cyclopentadien -1-yl)nickel
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23
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二茂钌
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C10H10Ru
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1287-13-4
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双(环戊二烯)钌
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Ruthenocene
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24
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甲基二茂镁
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C12H14Mg
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40672-08-0
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双(甲基环戊二烯)镁
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Bis(methylcyclopentadienyl)magnesium
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25
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乙基二茂镁
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C14H18Mg
|
114460-02-5
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双(乙基环戊二烯)镁
|
Bis(ethylcyclopentadienyl)magnesium
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26
|
乙基二茂锰
|
C14H18Mn
|
101923-26-6
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二(乙基环戊二烯基 )锰(II)
|
Bis(ethylcyclopentadienyl)manganese
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27
|
乙基二茂钌
|
C7H9RuC7H9
|
32992-96-4
|
双(乙基环戊二烯基 )钌(II)
|
Bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium(II)
|
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28
|
三甲基甲基环戊二烯基铂
|
C9H16Pt
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94442-22-5
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(三甲基)甲基环戊二烯合铂 (IV)
|
(Trimethyl)methylcyclopentadienylplatinum (IV)
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29
|
（四甲基庚二酮）锂
|
C11H19LiO2
|
22441-13-0
|
（2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)锂
|
(2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-heptanedionato)lithium
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30
|
（四甲基庚二酮）银
|
C11H19AgO2
|
79827-25-1
|
2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸根银(I)
|
2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-heptanedionato silver (I)
|
|
|
31
|
二（六氟戊二酮）铜
|
C10H2CuF12O4
|
14781-45-4
|
双(六氟乙酰丙酮)合铜(II)
|
Copper(II) hexafluoro-2,4-pentanedionate
|
|
|
32
|
三（乙酰丙酮）铱
|
C15H21IrO6
|
15635-87-7
|
三(乙酰丙酮根)合铱(III)
|
Iridium(III) acetylacetonate
|
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33
|
三（四甲基庚二酮）镧
|
C33H57LaO6
|
14319-13-2
|
(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)镧
|
BIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)LEAD(II)
|
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|
34
|
二（四甲基庚二酮）铅
|
C22H38O4Pb
|
21319-43-7
|
双(2,2,6,6,-四甲基-3,5-庚二酮酸)铅
|
BIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)LEAD(II)
|
|
|
35
|
三（四甲基庚二酮）铋
|
C33H57BiO6
|
142617-53-6
|
三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酸)铋
|
BISMUTH TRIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATE)
|
|
|
36
|
三（四甲基庚二酮）铒
|
C33H57ErO6
|
34750-80-6
|
三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)铒
|
ERBIUM TRIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL -3,5-HEPTANEDIONATE)
|
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37
|
三（四甲基庚二酮）钇
|
C33H57O6Y
|
15632-39-0
|
三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钇
|
TRIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)YTTRIUM(III)
|
|
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38
|
环戊二烯铟
|
C5H5In
|
34822-89-4
|
环戊二烯铟(I)
|
Cyclopentadienylindium (I)
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39
|
四氯化锡
|
Cl4Sn
|
7646-78-8
|
四氯化锡
|
Tin tetrachloride
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40
|
四异丙醇钛
|
C12H28O4Ti
|
546-68-9
|
钛酸四异丙酯
|
Titanium tetraisopropanolate
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41
|
叔丁醇锂
|
C4H9LiO
|
1907-33-1
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叔丁醇锂
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Lithium tert-butoxide
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