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电子级亚磷酸三甲酯TMPI
一、分子式: P(OCH3)3
二、分子量: 124.08
三、理化性质
无色液体，有刺激性臭味，熔点-78℃，沸点111～112℃，密度1.05g/ml。易燃，不溶于水。遇水缓慢分解为磷酸和甲醇。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）的磷源。是半导体、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。
CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料
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Dielectrics PMD/IMD
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TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB
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Low K Dielectrics
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4MS ,OMCATS
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High K Dielectrics
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TAETO (Ta2O5 Precursor )
TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor)
TMA (Al2O3 Precursor)
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Metal Gate and Interconnect Metal
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TDMAT (TiN Precursor )
TiCl4 ( Ti /TiN Precursor )
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Low-Temp Nitride/Oxide
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HCDS
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Diffusion
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POCl3
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