LED专用炉

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LED专用炉主要满足LED芯片制造行业，对圆片及残片进行合金、退火、扩散、氧化等工艺。

特点：

★关键件全部采用进口件，具有高可靠性。

★具有可编程的升、降温功能。

★具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。

★可存储九条工艺曲线。每条工艺曲线最多有九步。

★曲线间可以任意链接、重复。

★具有高抗干扰能力。

★具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。

★可为您提供斜滚式推拉舟系统，石英双杆推拉舟系统及SiC浆推拉舟系统。

主要技术参数：

★可配工艺管数量：1~4管/台；? ? ? ? ★工作温度范围：400～1300℃；

★恒温区长度及精度：300～1000mm? ? 600~1280℃±0.5℃；

★单点温度稳定性：600～1280℃±0.5℃/24h；? ? ?★可控升温速度：15℃/min

★降温速度：5℃/min?

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