产品概述：
锦正茂高低温真空探针台可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持频率上达67GHz)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。
应用范围：
锦正茂高低温真空探针台应用于高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。
可选附件：
þ 防震桌
þ 多级压缩制冷机
þ 机械泵/分子泵组/离子泵
þ 射频部件
þ 各类型频率真空接头
þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…
þ 各类探针夹具
þ Chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1Mpa正压系统
þ 超高温升级选件
þ 超高真空升级选件
技术指标：
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型号
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T81-50探针台
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T80-50探针台
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制冷方式
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液氦/液氮制冷
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闭循环制冷机
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腔体材质
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无磁不锈钢或者铝合金
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真空度
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真空上等高达10-8Pa
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真空腔观察窗尺寸
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2inch（可选）
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控温范围
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4.2K-450K
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5K-450K
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控温分辨率
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0.001K控温仪相关
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温度稳定性
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0.1K控温仪相关
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降温时间
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40min
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150min内，视制冷机功率定
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温度传感器
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硅二极管、PT100（3个，样品台和探针臂和防辐射屏上各一个）
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加热电源
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LVDC 低压直流
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样品台材质
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镀金无氧铜
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样品台尺寸
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直径20-50mm，可选100mm
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样品台平整度
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≤7μm
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样品台固定方式
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固定的样品台（可升级随位移台移动）
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样品台振动级别
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≤50纳米
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≤1μm（三级减震）
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探针臂数量
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2个、4个、6个、8个可选
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探针臂机械精度
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±12.5mm(可升级±25mm),精度1μm（可选）
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探针种类
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钨、铍铜、微波探针（可选高达67GHz的GSG探针）
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探针调节
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真空波纹管外部调节，手动控制
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放大倍数
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16~100X/20~4000X
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显微镜行程
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X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm
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电力需求
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220V 50-60Hz
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