产品概述：
北京锦正茂科技有限公司提供的多维磁场探针台，采用无磁材料制成，采用亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间多维磁场。线圈可采用自然冷却（磁场较小）或水冷结构（磁场较大），标配线圈过热保护装置。配合高精度双极性直流电源可长时间稳定工作。通过软件或者电源控制面板控制每一维输出电流，可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和360度转动，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等。
应用范围：
广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。三维磁场探针台和锦正茂自主研发的高精度双极性电源相匹配，通过真正的双极性电源输出，实现了空间任意方向上的矢量场合成。
可选附件：
þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线
þ CCD或C-MOS视频成像装装置
þ Chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1Mpa正压系统升级
þ 超高温升级选件
þ 超高真空升级选件
þ 各类探针夹具
þ 屏蔽箱
þ 防振桌
þ 转接头
þ 静音真空泵
技术指标：
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三维磁场探针台
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型号
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T8-500-3
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T8-300-3
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T8-100-3
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材质
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所选材料均为无磁材质
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磁场范围
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500Gs
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300Gs
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100GS
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线圈材质
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耐高温漆包线
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磁场均匀性
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中心区50毫米球体内1%
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电源稳定性
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三台高精度直流电源 50ppm可选10ppm
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磁场分辨率
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0.05 mT
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角度分辨率
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0.02°
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样品固定方式
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吸盘或者压片
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样品台直径
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50mm可定制
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显微镜
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X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm，可选加载激光
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放大倍数
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16~100X/20~4000X
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探针臂数量
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2、4可选
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探针臂行程
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25mm-25mm-12mm可更换
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探针臂移动精度
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10μm /2μm/1μm/0.7μm可选
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探针长度
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38mm
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探针直径
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0.51mm
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针尖直径
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10μm/5μm/1μm
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探针材料
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钨/铍铜/GGB
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漏电精度
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100fA
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显微镜
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X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm，可选加载激光
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