BenchMark 250 主要技术参数
XY 精度:E2=(1.8+6L/1000)微米 (E2=(1.0+6L/1000)微米 需高分辨率光栅尺)
Z 精度:E1=(2.0+5L/1000)微米 (E1=(1.2+5L/1000)微米 TTL激光和5倍镜头)
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英制单位
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公制单位
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测量范围
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12" X6"X6"
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300X150x150毫米
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尺寸
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28.3" X30.5"X38.3"
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720X775X873毫米
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负载
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25kg
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台面分辨率
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0.5um
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光学
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双重放大 (物镜)
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低倍
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0.8
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1.0
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2.5
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5.0
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10.0
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25.0
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高倍
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3.2
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4.0
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10.0
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20.0
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40.0
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100.0
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标配镜头
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1X
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可选镜头
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0.8X,2.5X,5X
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照明
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LED 背光,LED 同轴面光
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可选特征
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多色可编程环形光 (PRL)
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Ronchi 栅格自动ju jiao
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TTL 激光
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旋转分度工作台
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