此款升降机通过转角方式使基板同步升降,并用四点运动串连及六点运动串连和十二点运动串连,使基板高度降低,减少运动上的误差,同时,平面升降更能直接迅速达到效能,节省使用空间,提高产量,品质稳定性更高.
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