氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用普瑞公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。
氪分析用氦离子色谱仪参考：GB/T 5829-2006 氪气
|
项目
|
指标
|
|
高纯氪
|
纯氪
|
|
一等品
|
合格品
|
|
氪气（Kr）（体积分数）/10-2
|
≥
|
99.999
|
99.995
|
99.99
|
|
氮（N2）（体积分数）（N2）/10-6
|
≤
|
2
|
8
|
20
|
|
氧（O2）+氩（Ar）（体积分数）/10-6
|
≤
|
1.5
|
5
|
5
|
|
氢（H2）（体积分数）/10-6
|
≤
|
0.5
|
1
|
2
|
|
一氧化碳（CO）（体积分数）/10-6
|
≤
|
0.3
|
0.4
|
1
|
|
二氧化碳（CO2）（体积分数）/10-6
|
≤
|
0.4
|
0.8
|
1
|
|
甲烷（CH4）（体积分数）/10-6
|
≤
|
0.3
|
0.8
|
1
|
|
水分（H2O）（体积分数）/10-6
|
≤
|
2
|
3
|
5
|
|
氙气（Xe）（体积分数）/10-6
|
≤
|
2
|
20
|
50
|
|
氟化物（CF4）（体积分数）/10-6
|
≤
|
1
|
10
|
15
|
