井式/立式真空炉主要用于半导体器件烧结、封焊,太阳能电池片烘干、焊接及金属化管壳等气密性封装,玻璃容器的烧结及各种零件在氢氮保护下进行的工艺 。
井式真空炉主要技术参数
真空室工位数:1-3位
真空度:1Pa,加扩散泵为5x10-3Pa
工作温度:<1000℃
充气的最高压强:0.3Mpa(可控)
不锈钢内胆:Φ150-Φ350x1300mm(用户自定)
恒温区:600-1200mm±1℃
控温方式:三点三段采用原装进口高精度控温仪
控温曲线:9段升降温/999小时
工作方式:自动或手动自由转换
单点精度:±1℃/24h
正压、负压均采用数字显示表
可多工位同时工作